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製品の詳細
製品紹介:
ビート検出:≤60 s/件
ヘリウム充填圧力:abs IBar∽abs 4Bar
検出精度:最小検出ヘリウム漏れ率1.0 E-9 mbar.L /s
検出方式:真空箱式ヘリウム質量分析漏れ検出
上下材料方式:手動
真空タンクの真空引き圧力能力:20 Pa(abs)
ワーク真空引き圧力能力:1000 Pa(abs、圧力調整可能)
設備自己検査機能:真空チャンバ気密性自己検査、システム自己検査
オンライン照会
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ビート検出:≤60 s/件
ヘリウム充填圧力:abs IBar∽abs 4Bar
検出精度:最小検出ヘリウム漏れ率1.0 E-9 mbar.L /s
検出方式:真空箱式ヘリウム質量分析漏れ検出
上下材料方式:手動
真空タンクの真空引き圧力能力:20 Pa(abs)
ワーク真空引き圧力能力:1000 Pa(abs、圧力調整可能)
設備自己検査機能:真空チャンバ気密性自己検査、システム自己検査